一、行業簡介
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯(xiǎn)示、高精度線路板、光電(diàn)器件、各(gè)種電子器件、微(wēi)電子工業、大規模、超(chāo)大規模(mó)集(jí)成電路需用大量的(de)純水、高純水、超純水清洗半成品(pǐn)、成品。集成電路的集成度越高,線(xiàn)寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部(bù)把電子級水質技術分(fèn)為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不(bú)同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食(shí)品、造(zào)紙、日化、建材、造漆、蓄電池(chí)、化驗、生物、製藥(yào)、石油、化工(gōng)、鋼鐵(tiě)、玻璃等領域。
2、化工工藝(yì)用水(shuǐ)、化學藥劑、化妝品等用純水(shuǐ)。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯(xīn)片、半導體封裝 、引線櫃架、集成電路、液晶顯(xiǎn)示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通(tōng)信、電腦元件、電容器潔淨產品及各種元器(qì)件等生產工藝用純水。
三、工藝簡(jiǎn)介
1、係統模塊(kuài)化設計,共分(fèn)四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統(tǒng)。
2、預處理係統主要用(yòng)來去除原水中的懸浮物、濁度、色度、膠體以(yǐ)及部分有(yǒu)機物,保證產水符合反滲透係統的進水水質要求。
3、反滲透係統主要用來(lái)去(qù)除原水中溶解性鹽類物質、細菌、熱源等,保證產水符合EDI係統進水水質要求。
4、EDI係統(tǒng)主要(yào)用來對反滲透產水進行(háng)進一步(bù)脫除溶解性(xìng)的小分子鹽類物質,產水達到電阻率達到(dào)15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是用來將合格水輸送至用水點(diǎn),輸送過程中(zhōng)對EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。
四、技術特色(sè)
1、係統模塊化設計(jì),占地麵積小,操作維護方便,安(ān)裝方便快捷,整體美觀。
2、整套係統實現全自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設(shè)備產水水質穩(wěn)定,運(yùn)行連續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學藥品再生,無危害性廢液排(pái)放。
5、係統節水率高,係統回收率在75%以上。
6、關鍵部位采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回(huí)收率:
超濾≥90%
一級反滲透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產(chǎn)水符合《電子超純(chún)水(shuǐ)國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體工業純水指標。
3、單支(zhī)膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。